更新时间:2025-09-26
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一、linetech质量流量控制器产物特点
二、linetech质量流量控制器技术参数
| 型号 | 质量流量计 | 质量流量控制器 |
| 流量范围(狈2) | 10SCCM~1000SLPM | 10SCCM ~ 300slpm |
| 响应时间 | <2 sec | <2 sec |
| 精准度 | ≤±1% FS | ≤±1% FS |
| 重复精度 | ±0.25% FS | ±0.25% FS |
| 输入/输出信号 | 0~5 Vdc OR 4~20 mA | 0~5 Vdc OR 4~20 mA |
| 供电电源 | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA | ±15 Vdc or 24 Vdc, 350mA |
| 耐压 | <90bar | 0-30SLPM,&濒迟;90产补谤;30-100厂尝笔惭,&濒迟;70产补谤, 100-300SLPM,<15bar |
| 工作环境温度 | 0~50 °C | 0~50 °C |
| 漏率 | 1*10E-9 atm cc/sec | 1*10E-9 atm cc/sec |
| 使用范围 | 2 ~ 100% | 2~ 100% |
叁、linetech质量流量控制器接口尺寸


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